中文名稱 質量流量控制器 英文名稱 Mass Flow Controller 產品型號 840 產品廠牌 SIERRA 產品代碼 S03-001 規格 範圍 ：0~100SCCM for air 材質 ：感應器：316 SUS 本體 ：316 SUS 操作溫度 ：0~50℃ 操作壓力 ：max 500psig 連接管 ：1/4" 鐵模 精確度 ：±1%F.S 輸入/輸出信號：0~5VDC 簡介