中文名稱 四合一質量流量控制器 英文名稱 MicroProcess Bases Power 產品型號 產品廠牌 SIERRA 產品代碼 S03-002 規格 感應器輸入信號 ：0~5VDC 感應器輸出信號控制：0~5VDC 感應器電力 ：±15VDC FLO1=90.0SCCM FLO2=150SLPM 電力 ：110VAC 信號輸出控制室 ：0~5VDC 信號輸入控制室 ：0~5VDC 具REMOTE CONTROL功能(從控制室以信號搖控本機) 簡介