中文名稱 質量流量控制器 英文名稱 Mass Flow Controller 產品型號 820-S 產品廠牌 SIERRA 產品代碼 S03-003 規格 顯示 ：3-1/2位數LCD 精確度 ：±1.5%F.S 範圍 ：0~100SCCM FOR AIR 最大操作壓力：500PSIG 操作溫度 ：0~50oC 材質 ：SENSOR/BODY：SUS316 O-RING ：VITON 信號輸出 ：0~5Vdc 接頭 ：1/4" SWAGELOK 電源 ：110Vac(附交直流轉換器) 簡介